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真空脫泡機(jī)蒸汽流擴(kuò)散泵
蒸汽流分散泵在歷史上*早被用來取得高真空，現(xiàn)在仍廣泛運(yùn)用。它是運(yùn)用氣體分散現(xiàn)象來抽氣的。分散泵按泵內(nèi)作業(yè)液體的品種來分，有汞泵和油泵兩種。因汞蒸汽有毒，除特殊場(chǎng)合外，現(xiàn)已防止運(yùn)用。按結(jié)構(gòu)資料來分，有玻璃和金屬泵兩種。玻璃分散泵都是小型的，制作簡(jiǎn)單，成本低，但抽速較小，易決裂。金屬結(jié)構(gòu)強(qiáng)度較高，適于制作大型泵。
單噴嘴油分散泵的結(jié)構(gòu)如圖8.0-3所示。泵的底部為蒸發(fā)器，蒸發(fā)器內(nèi)貯有高真空油液，經(jīng)泵外的電爐加熱后，發(fā)生必定的油蒸汽，其壓強(qiáng)約為10－1Ｔｏｒｒ的數(shù)量級(jí)。蒸汽沿導(dǎo)管傳輸?shù)缴喜浚?jīng)由傘形噴嘴向下噴出。因?yàn)閲娮焱饷娴臍怏w壓強(qiáng)較低，約在10－2～10－3Torr，所以，油蒸汽流可向下噴出一長(zhǎng)段間隔，構(gòu)成一個(gè)向出氣口方向運(yùn)動(dòng)的射流。因?yàn)閺恼舭l(fā)器出來的蒸汽流中包括的氣體很少，也就是蒸汽流中氣體密度低而蒸汽流上方被抽容器的氣體分壓強(qiáng)總是較大的，氣體分子就不斷從蒸汽流上方空間分散到蒸汽流內(nèi)。射流是超音速的，且密度較大，分子量較高，故運(yùn)載氣體的才干很強(qiáng)。分散到超音速射流內(nèi)的氣體分子與蒸汽分子磕碰后得到向下的動(dòng)量，并被壓縮到較高的壓強(qiáng)區(qū)里，*后被前級(jí)泵排出。射流在往下運(yùn)動(dòng)過程中碰到有冷卻水冷卻的泵壁，油分子被冷凝下來，沿著泵壁流回蒸發(fā)器，持續(xù)循環(huán)運(yùn)用。
近代分散泵內(nèi)一般都有三個(gè)至四個(gè)噴嘴相串聯(lián)，這樣的泵也稱三或四級(jí)泵，見圖8.0-4。玻璃油分散泵的標(biāo)稱泵速為每秒十幾升到每秒幾十升，金屬油分散泵的泵速可達(dá)每秒幾百升乃至每秒幾萬升。
油分散泵在下面出氣口壓強(qiáng)為10－2～10－3Ｔｏｒｒ時(shí)進(jìn)氣口的極限真空可達(dá)10-6～10-7Ｔｏｒｒ。若對(duì)噴口結(jié)構(gòu)加以改進(jìn)，加低溫捕集阱阻截油蒸汽分子，或選用新型極低蒸汽壓分散泵油（如國(guó)產(chǎn)276硅油或聚苯醚油），則油分散泵的極限真空可達(dá)10-9Torr，能滿意清潔的超高真空體系的要求。
油分散泵需在氣體處于分子流狀況的壓強(qiáng)（小于10-2Ｔｏｒｒ）下才干正常排氣。真空室和前級(jí)氣壓太高時(shí)氣體分子相互頻頻磕碰，處于無序的運(yùn)動(dòng)狀況，不只很難構(gòu)成與高速射流噴發(fā)方向共同的定向運(yùn)動(dòng)，而且會(huì)發(fā)生嚴(yán)峻的反分散，使之喪失抽速；一起氣壓太高時(shí)，會(huì)使泵油分子氧化分化，蒸汽壓增高，然后失掉效能，故分散泵既要求體系有必定的準(zhǔn)備真空，又要有必定的前級(jí)真空。通常用機(jī)械泵作為前級(jí)泵配合運(yùn)用。本實(shí)驗(yàn)即選用這種分散泵機(jī)械泵典型的串聯(lián)體系來取得高真空。
油分散泵的極限真空度與作業(yè)油液汽流的噴發(fā)速度有關(guān)。一般地，噴發(fā)速度越大取得的極限真空越高；別的油分散泵的極限真空度還遭到作業(yè)油液飽滿蒸汽壓和氣體分子的反分散的約束。對(duì)作業(yè)油液的要求是：熱穩(wěn)定性好，揮發(fā)物質(zhì)少，飽滿蒸汽壓低，不易氧化，不易裂解。
