等離子技術(shù)針對(duì)電子元器件的防腐蝕涂層
對(duì)電子器件和組件提供有選擇性防腐蝕保護(hù)以應(yīng)對(duì)氣候的影響對(duì)于各類產(chǎn)品的可靠性至關(guān)重要?，F(xiàn)代轎車上的所有缺陷，幾乎一半是由于氣候引起的老化和電子元器件發(fā)生的腐蝕損害而造成的。即便是在極端溫度條件下，對(duì)濕度、化學(xué)物質(zhì)和有害氣體進(jìn)行防護(hù)，是避免這樣的系統(tǒng)故障的必不可少的先決條件。

當(dāng)前，主要是通過(guò)油漆、樹(shù)脂或凝膠（硅）涂層來(lái)滿足這些要求。然而，這些工藝的應(yīng)用費(fèi)力而又費(fèi)時(shí)，在經(jīng)濟(jì)上和環(huán)保上都表現(xiàn)出局限性。通常使用的溶劑型涂層系統(tǒng)相對(duì)較厚且很難進(jìn)行涂層區(qū)域選擇。根據(jù)具體的保護(hù)涂層種類，可能還會(huì)出現(xiàn)如散熱不良、吸收水分、涂層脫落或傳感器信號(hào)衰減等缺陷。

而利用等離子技術(shù)，可有效沉積超薄、透明和絕緣的防老化等離子聚合涂層，并有選擇性的保護(hù)電子器件，特別是印刷電路板。該涂層高效的防護(hù)阻隔作用，不僅會(huì)延長(zhǎng)產(chǎn)品的壽命、提高產(chǎn)品的安全性，還將顯著降低成本。大氣等離子體處理機(jī)對(duì)HDI，柔性和剛性電路板制造進(jìn)行了去污和回蝕作業(yè)。它結(jié)合了市場(chǎng)領(lǐng)先的等離子技術(shù)，結(jié)合基于多年經(jīng)驗(yàn)的應(yīng)用特定開(kāi)發(fā)。

    可擴(kuò)展等離子體系統(tǒng)，可以從4到8個(gè)等離子體電池升級(jí)，隨著生產(chǎn)要求和操作而增長(zhǎng)，是處理低容量，高混合物產(chǎn)品的中小型企業(yè)或研發(fā)機(jī)構(gòu)的理想選擇，旨在滿足不斷變化的生產(chǎn)環(huán)境，等離子體系統(tǒng)在其前身PCB-800/1600及其同時(shí)代系統(tǒng)之間保持了完美的平衡。該室仍然是純粹的PCB系列”的尺寸和功能，但其他一切都已升級(jí)系列技術(shù) ，從氣體分配和泵包到用戶界面和控制參數(shù)。通過(guò)共享類似的組件和接口，可以更輕松地提高等離子體處理PCB面板的容量。系統(tǒng)可以處理低容量，高混合度的產(chǎn)品，是中小型企業(yè)或研發(fā)機(jī)構(gòu)的理想選擇。隨著生產(chǎn)量的增加，系統(tǒng)可以從四個(gè)等離子體電池升級(jí)到*多八個(gè)等離子體電池。

    與其他系列等離子體系統(tǒng)類似，是獨(dú)立的，需要*小的占地面積。底盤裝有等離子體室，控制電子設(shè)備，40 kHz射頻發(fā)生器，泵/鼓風(fēng)機(jī)組合和自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)?？梢詮那懊姘寤蚝竺姘暹M(jìn)行維護(hù)檢修。

    等離子體室由優(yōu)質(zhì)鋁制成，具有出色的耐用性。該腔室設(shè)計(jì)用于在單獨(dú)的等離子體電池中處理PCB面板，以提供具有優(yōu)異處理均勻性的高蝕刻速率。

 等離子體處理系統(tǒng)

    大氣等離子體處理機(jī)使用單步過(guò)程提供了柔性材料兩側(cè)的業(yè)界領(lǐng)先的等離子體處理均勻性。它是一個(gè)獨(dú)立的真空等離子體處理系統(tǒng)，具有節(jié)省空間的緊湊型底盤，具有兩個(gè)易于訪問(wèn)的前裝載門。雙機(jī)架等離子體室可在一個(gè)周期內(nèi)容納多達(dá)十八個(gè)20“x 24”面板，每小時(shí)可達(dá)80-120個(gè)單位（UPH）。FlexVIA系統(tǒng)的先進(jìn)的水平電極設(shè)計(jì)，集成了機(jī)架，可提供等離子體處理均勻性的*佳材料對(duì)準(zhǔn)。它也不需要使用昂貴的氟氣。相反，利用環(huán)境友好且具有成本效益的氣體等離子體溶液如氬氣（Ar）和氧氣（O2）。

    等離子體處理系統(tǒng)其先進(jìn)的水平電極設(shè)計(jì)，集成了機(jī)架，提供了*佳的材料對(duì)準(zhǔn)，而雙機(jī)架式機(jī)箱可以在一個(gè)周期內(nèi)容納多達(dá)三十個(gè)20“x 24”的面板，使每小時(shí)可達(dá)140-200單位。是一種完全獨(dú)立的真空處理系統(tǒng)，具有集成的卷對(duì)卷材料處理，用于生產(chǎn)PCB制造環(huán)境。等離子體處理均勻性是表面激活，去除和回蝕應(yīng)用中柔性電路板制造技術(shù)的關(guān)鍵操作特性。集成的卷對(duì)卷材料處理系統(tǒng)確保精確控制薄至25微米的基材的輥速度，張力和邊緣引導(dǎo)。基于光學(xué)的邊緣引導(dǎo)檢測(cè)允許在倒帶操作期間可靠的控制。底板加載簡(jiǎn)單，可通過(guò)四個(gè)門輕松訪問(wèn)裝載部分。有三種配置可滿足各種生產(chǎn)需求。1.表面等離子體波是在兩種界面附近存在的波，界面兩側(cè)的折射率分布對(duì)場(chǎng)分布有很大的影響，利用這一點(diǎn)能夠進(jìn)行傳感。目前利用Kretschmann結(jié)構(gòu)進(jìn)行生物傳感的技術(shù)已經(jīng)得到了極大的發(fā)展，這種傳感技術(shù)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，靈敏度高，檢測(cè)過(guò)程中無(wú)需標(biāo)記物，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)樣品結(jié)合過(guò)程，傳感芯片可重復(fù)利用，響應(yīng)速度快等諸多特點(diǎn)。目前該技術(shù)可用于氣體、 液體和有機(jī)薄膜等分析，目前主要用于生命科學(xué)和化學(xué)領(lǐng)域。目前市場(chǎng)上主要產(chǎn)品有瑞典Biocore AB公司生產(chǎn)的Biocore 3000等。

表面等離子體技術(shù)應(yīng)用

2.表面等離子體波具有局域分布的特性，而且其分布深度可小于波長(zhǎng)量級(jí)，突破衍射極限，使得表面等離子體波能夠應(yīng)用于制作亞波長(zhǎng)量級(jí)的光電子器件的生產(chǎn)，有利用光電子集成器件的制作。例如：可以制作亞波長(zhǎng)量級(jí)的波導(dǎo)，亞波長(zhǎng)量級(jí)的布拉克反射鏡,亞波長(zhǎng)量級(jí)的透鏡等。由于能夠突破極限，所以能夠應(yīng)用表面等離子體效應(yīng)來(lái)做近場(chǎng)顯微鏡，做曝光等等。

3.表面等離子體波在太陽(yáng)能電池和LED等新型能源相關(guān)器件方面的應(yīng)用。目前可以在太陽(yáng)能電池上利用表面等離子體效應(yīng)來(lái)提高太陽(yáng)能電池的光電轉(zhuǎn)換效率，同樣也可以在LED上應(yīng)用表面等離子體效應(yīng)提高其出光效率。如果能研制出商業(yè)化的產(chǎn)品，那么對(duì)于解決人類的能源問(wèn)題，表面等離子體波也能貢獻(xiàn)自己的一份力量。